Knowledge Management System Of Guangzhou Institute of Energy Conversion, CAS
| RTCVD制备多晶硅薄膜的性能参数研究 | |
| 王磊; 沈辉; 胡芸菲; 班群 | |
| 2004-11-15 | |
| Source Publication | 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛 ; 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛 |
| Source Publication | 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛 ; 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛 |
| Conference Date | 2004-11-15 |
| Conference Place | 深圳 |
| Publication Place | 深圳 |
| Funding Organization | 中国太阳能学会 |
| Other Abstract | 研究了RTCVD 设备参数如：温度、反应气体流量、沉积时间对多晶硅薄膜的性能的影响，通过扫描电镜（SEM）、X 射线（XRD）、霍尔测试及电池模拟软件PC1D 描述了薄膜性质随各参数的变化规律性，提出改进薄膜性能的思路。 |
| Keyword | 多晶硅薄膜 太阳电池 薄膜性能 |
| Language | 中文 |
| Document Type | 会议论文 |
| Identifier | http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/7904 |
| Collection | 中国科学院广州能源研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王磊,沈辉,胡芸菲,等. RTCVD制备多晶硅薄膜的性能参数研究[C]. 深圳,2004. |
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| RTCVD制备多晶硅薄膜的性能参数研究.（149KB） | 开放获取 | -- | View Download | |||
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