Knowledge Management System Of Guangzhou Institute of Energy Conversion, CAS
RTCVD制备多晶硅薄膜的性能参数研究 | |
王磊; 沈辉; 胡芸菲; 班群 | |
2004-11-15 | |
Source Publication | 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛 ; 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛 |
Source Publication | 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛 ; 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛 |
Conference Date | 2004-11-15 |
Conference Place | 深圳 |
Publication Place | 深圳 |
Funding Organization | 中国太阳能学会 |
Other Abstract | 研究了RTCVD 设备参数如:温度、反应气体流量、沉积时间对多晶硅薄膜的性能的影响,通过扫描电镜(SEM)、X 射线(XRD)、霍尔测试及电池模拟软件PC1D 描述了薄膜性质随各参数的变化规律性,提出改进薄膜性能的思路。 |
Keyword | 多晶硅薄膜 太阳电池 薄膜性能 |
Language | 中文 |
Document Type | 会议论文 |
Identifier | http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/7904 |
Collection | 中国科学院广州能源研究所 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 王磊,沈辉,胡芸菲,等. RTCVD制备多晶硅薄膜的性能参数研究[C]. 深圳,2004. |
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RTCVD制备多晶硅薄膜的性能参数研究.(149KB) | 开放获取 | -- | View Download |
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