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| 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法; 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法 | |
| 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法; 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法 | |
| 徐刚; 何云富; 黄春明; 安赟; 王福同 | |
| 2008-11-05 | |
| Date Available | 2008-09-17 ; 2011-07-13 |
| Country | 中国 |
| Patentee | 中国科学院广州能源研究所 |
| Subtype | 发明 ; 发明 ; 公开 ; 公开 ; 发明 ; 公开 |
| Subtype | 发明 ; 发明 ; 公开 ; 公开 ; 发明 ; 公开 |
| Other Abstract | 本发明利用晶体异质外延生长原理，在不损二氧化钒薄膜质量(热色性)的前提下，为 二氧化钒薄膜在玻璃衬底上的沉积提供一种低温制备方法。以玻璃为衬底，依次包括如下步 骤：1)玻璃衬底清洗与处理；2)在玻璃衬底上，先沉积一层二氧化硅扩散阻隔层；3)在二 氧化硅扩散阻隔层上面再沉积一层氧化锌籽晶层；4)最后再在氧化锌籽晶层上面沉积二氧化 钒热色薄膜层。本发明采用的氧化锌籽晶层结晶温度低、晶格常数与二氧化钒能很好匹配， 特别适合二氧化钒薄膜的异质外延生长，从而可有效降低二氧化钒薄膜的沉积温度，简化二 氧化钒智能玻璃的 |
| Subtype | 发明 ; 发明 ; 公开 ; 公开 ; 发明 ; 公开 |
| Application Date | 2008-04-07 |
| Language | 中文 |
| Application Number | 200810027270.6 |
| Patent Agent | 莫瑶江:广州华进联合专利商标代理有限公司 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/5306 |
| Collection | 中国科学院广州能源研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 徐刚,何云富,黄春明,等. 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法, 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法[P]. 2008-11-05. |
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| CN101265036A.pdf（454KB） | 开放获取 | -- | View Download | |||
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