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一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法; 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法 | |
一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法; 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法 | |
徐刚; 何云富; 黄春明; 安赟; 王福同 | |
2008-11-05 | |
Date Available | 2008-09-17 ; 2011-07-13 |
Country | 中国 |
Patentee | 中国科学院广州能源研究所 |
Subtype | 发明 ; 发明 ; 公开 ; 公开 ; 发明 ; 公开 |
Subtype | 发明 ; 发明 ; 公开 ; 公开 ; 发明 ; 公开 |
Other Abstract | 本发明利用晶体异质外延生长原理,在不损二氧化钒薄膜质量(热色性)的前提下,为 二氧化钒薄膜在玻璃衬底上的沉积提供一种低温制备方法。以玻璃为衬底,依次包括如下步 骤:1)玻璃衬底清洗与处理;2)在玻璃衬底上,先沉积一层二氧化硅扩散阻隔层;3)在二 氧化硅扩散阻隔层上面再沉积一层氧化锌籽晶层;4)最后再在氧化锌籽晶层上面沉积二氧化 钒热色薄膜层。本发明采用的氧化锌籽晶层结晶温度低、晶格常数与二氧化钒能很好匹配, 特别适合二氧化钒薄膜的异质外延生长,从而可有效降低二氧化钒薄膜的沉积温度,简化二 氧化钒智能玻璃的 |
Subtype | 发明 ; 发明 ; 公开 ; 公开 ; 发明 ; 公开 |
Application Date | 2008-04-07 |
Language | 中文 |
Application Number | 200810027270.6 |
Patent Agent | 莫瑶江:广州华进联合专利商标代理有限公司 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/5306 |
Collection | 中国科学院广州能源研究所 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 徐刚,何云富,黄春明,等. 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法, 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法[P]. 2008-11-05. |
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