Knowledge Management System Of Guangzhou Institute of Energy Conversion, CAS
| 减反射薄膜的制备及其性能 | |
| 张雪娜; 徐雪青; 沈辉; 郑岳华 | |
| 2002-11-28 | |
| Source Publication | 《半导体学报》第24卷 增刊第二届全国纳米技术与应用学术会议专刊 ; 《半导体学报》第24卷 增刊第二届全国纳米技术与应用学术会议专刊 ; 第二届全国纳米技术与应用学术会议 ; 第二届全国纳米技术与应用学术会议 |
| Source Publication | 《半导体学报》第24卷 增刊第二届全国纳米技术与应用学术会议专刊 ; 《半导体学报》第24卷 增刊第二届全国纳米技术与应用学术会议专刊 ; 第二届全国纳米技术与应用学术会议 ; 第二届全国纳米技术与应用学术会议 |
| Conference Date | 2002-11-28 |
| Conference Place | 宁波 |
| Publication Place | 宁波 |
| Funding Organization | 中国电子学会 |
| Other Abstract | 使用射频溅射和溶胶-凝胶(Sol-Gel)两种方法在玻璃表面制备SiO<,2>减反射薄膜,比较两种方法制备的薄膜减反效果.分析了Sol-Gel方法中溶胶浓度、陈化时间以及退火温度对薄膜透过率的影响.当溶胶浓度为0.4M、陈化时间为6天以及退火温度达450℃时,制得的样品透过率可达99.3％.采用红外光谱分析了SiO<,2>溶胶及凝胶的结构变化过程,发现随着陈化时间和退火温度增加,Si—O—Si键增强. |
| Keyword | 红外光谱分析 减反射薄膜 二氧化硅 射频溅射法 溶胶凝胶法 膜材料 |
| Language | 中文 |
| Document Type | 会议论文 |
| Identifier | http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/7928 |
| Collection | 中国科学院广州能源研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 张雪娜,徐雪青,沈辉,等. 减反射薄膜的制备及其性能[C]. 宁波,2002. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
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