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| N2、O2对磁控溅射TiOyNx选择性吸收薄膜光学性质的影响 | |
| 陈达; 汪保卫; 沈辉 | |
| 2003-09-01 | |
| Source Publication | 全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集 ; 全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集 ; 全国第三届纳米材料和技术应用会议 ; 全国第三届纳米材料和技术应用会议 |
| Source Publication | 全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集 ; 全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集 ; 全国第三届纳米材料和技术应用会议 ; 全国第三届纳米材料和技术应用会议 |
| Conference Date | 2003-09-01 |
| Conference Place | 南京 |
| Publication Place | 南京 |
| Funding Organization | 中国材料研究学会 |
| Other Abstract | 光谱选择性吸收薄膜的制备是太阳能集热器高效吸收太阳能的关键技术.本文就磁控溅射制备氮化钛膜中N<,2>、O<,2>流量变化对溅射过程及膜的性能的影响进行了讨论. |
| Keyword | 氮氧化钛 吸收率 发射率 光谱选择性吸收薄膜 光学性质 太阳能 |
| Language | 中文 |
| Document Type | 会议论文 |
| Identifier | http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/7886 |
| Collection | 中国科学院广州能源研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 陈达,汪保卫,沈辉. N2、O2对磁控溅射TiOyNx选择性吸收薄膜光学性质的影响[C]. 南京,2003. |
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| N2、O2对磁控溅射TiOyNx选择性吸（168KB） | 开放获取 | -- | View Download | |||
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