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| 一种TiOxNy高效太阳能光热转换薄膜的制备方法; 一种TiOxNy高效太阳能光热转换薄膜的制备方法 | |
| 一种TiOxNy高效太阳能光热转换薄膜的制备方法; 一种TiOxNy高效太阳能光热转换薄膜的制备方法 | |
| 林洪; 沈辉; 汪保卫; 陈达 | |
| 2007-02-28 | |
| Date Available | 2005-03-16 ; 2011-07-13 |
| Country | 中国 |
| Patentee | 广州粤海真空技术有限公司 ; 中国科学院广州能源研究所 |
| Subtype | 发明 ; 发明 ; 公开 ; 公开 ; 发明 ; 公开 |
| Subtype | 发明 ; 发明 ; 公开 ; 公开 ; 发明 ; 公开 |
| Other Abstract | 一种TiOxNy高效太阳能光热转换薄膜的制备方法，包括以下步骤：(1)清洗处理镀膜基片；(2)开真空镀膜室，在样品转架上放置镀膜基片；(3)烘烤真空镀膜室并开启相应泵体冷却水系统，抽真空达到本底真空；(4)经质量流量计在真空镀膜室中通入氩气，调节溅射工作气压；(5)启动直流靶极电源，电离氩气，调节电源溅射电流，预溅射去除金属Ti靶的靶面化合物；(6)经质量流量计同时引入氮气和氧气进行反应溅射，分段调节或者连续调节镀膜参数，依次沉积不同金属含量的吸收层和化合物减反射层；(7)停机，取出薄膜样品。本发明制备工 |
| Subtype | 发明 ; 发明 ; 公开 ; 公开 ; 发明 ; 公开 |
| Application Date | 2004-07-12 |
| Language | 中文 |
| Application Number | 200410028010.2 |
| Patent Agent | 李海波:广州知友专利代理有限公司 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/5124 |
| Collection | 中国科学院广州能源研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 林洪,沈辉,汪保卫,等. 一种TiOxNy高效太阳能光热转换薄膜的制备方法, 一种TiOxNy高效太阳能光热转换薄膜的制备方法[P]. 2007-02-28. |
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