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用区熔技术改善多晶硅薄膜颗粒硅带衬底的质量
胡芸菲; 沈辉; 王磊; 邹禧武; 班群; 梁宗存; 刘正义; 闻立时
2005
发表期刊华南理工大学学报:自然科学版
卷号33期号:7页码:28-31
合作性质其它
收录类别其他
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/461
专题中国科学院广州能源研究所
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GB/T 7714
胡芸菲,沈辉,王磊,等. 用区熔技术改善多晶硅薄膜颗粒硅带衬底的质量[J]. 华南理工大学学报:自然科学版,2005,33(7):28-31.
APA 胡芸菲.,沈辉.,王磊.,邹禧武.,班群.,...&闻立时.(2005).用区熔技术改善多晶硅薄膜颗粒硅带衬底的质量.华南理工大学学报:自然科学版,33(7),28-31.
MLA 胡芸菲,et al."用区熔技术改善多晶硅薄膜颗粒硅带衬底的质量".华南理工大学学报:自然科学版 33.7(2005):28-31.
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